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当前所在位置：真空泵的种类及其工作范围
发布时间：2012-04-26 12:21:00 点击：
真空泵的种类及其工作范围
| 真空泵 | 工作范围(托) | 真空泵 | 工作范围(托) | |
| 旋片真空泵 | 760~5×10-4 | 往复真空泵 | 760~10-2 | |
| 滑阀真空泵 | 760~5×10-3 | 吸附泵 | 760~10-4 | |
| 油增压泵 | 10-1~10-4 | 溅射离子泵 | 10-4~10-10 | |
| 罗茨真空泵 | 10-1~10-4 | 钛升华泵 | 10-3~10-10 | |
| 油扩散泵 | 10-3~5×10-7 | 分子泵 | 10-3~10-10 | |
| 水环真空泵 | 760~25 | 低温泵 | 10-3~10-10 |
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